5N5电子级氯化氢

所属分类：氯化氢

发布日期：2025-01-23 14:45:16

来源：洛阳宏昌工贸有限公司

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5N5电子级氯化氢的作用

5N5电子级氯化氢（5N5纯度，即99.999%）是一种高纯度、低杂质的气体，广泛应用于半导体、光电子、光伏和硬质合金制造等领域。以下是其主要作用：

1. 半导体制造：电子级氯化氢主要用于大规模集成电路生产中的单晶硅片气相抛光和外延基座腐蚀，能够有效去除硅片表面的杂质和缺陷，提升半导体器件的性能。

2. 外延生长前处理：在半导体外延生长工艺中，电子级氯化氢可用于高温气相刻蚀，清除硅和砷化镓表面的钠离子等杂质，确保外延层的高质量。

3. 金属表面处理：该气体可用于金属表面的化学处理，去除氧化层和其他杂质，提高金属表面的清洁度和反应活性。

4. 硬质合金制造：在硬质合金生产中，电子级氯化氢用于去除杂质和改善材料的微观结构，从而提升合金的性能。

5. 其他应用：电子级氯化氢还用于激光混合气、胶片生产、碳纤维表面处理等，其高纯度和低杂质特性能够满足这些高科技领域对气体质量的严格要求。

由于其强腐蚀性和毒性，电子级氯化氢在使用和储存时需要严格遵守安全规范，确保操作环境干燥、通风良好。

5N5电子级氯化氢产品技术指标
项目/组份		含量
氯化氢（HCl）纯度（体积分数）/10^-2	≥	99.9995
氧+氩（O₂+Ar）含量（体积分数）/10^-6	＜	0.5
氮（N₂）含量（体积分数）/10^-6	＜	1
二氧化碳（CO₂）含量（体积分数）/10^-6	＜	0.5
一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10^-6	＜	0.5
烃（CH_4~C₂H₂）含量（体积分数）/10^-6	＜	1
水分（H₂O）含量（体积分数）/10^-6	＜	0.5
氯（Cl₂）含量（体积分数）/10^-6	＜	0.5
氢（H₂）含量（体积分数）/10^-6	＜	0.5

5N5电子级氯化氢产品重金属杂质技术指标
重金属含量/10^-6（质量分数）		含量
铝（Al）	≤	0.001
砷（As）	≤	0.001
硼（B）	≤	0.001
镉（Cd）	≤	0.001
铬（Cr）	≤	0.001
铜（Cu）	≤	0.001
铁（Fe）	≤	0.003
钠（Na）	≤	0.005
镍（Ni）	≤	0.002
磷（P）	≤	0.005
铅（Pb）	≤	0.002
锌（Zn）	≤	0.005
钼（Mo）	≤	0.01